Die herkömmlich eingesetzten Rotationssensoren bestehen aus monolithisch integrierten Sensor-Chips, die in Drahtbondtechnik auf ein Stanzgitter aufgebaut werden. Jedoch lässt diese Technologie keine weitere Bauraum-Reduzierung zu. Eine entscheidende Bauraum-Reduzierung wird durch die Ausführung des Sensor-Chips als Flip Chip erreicht. Dies stellt jedoch besondere Anforderungen an den Schaltungsträger für den Chip und die weiteren Komponenten wie SMD-Kondensator, Magnet und Kabelkontaktierung. Diese Anforderungen werden durch die Verwendung der Molded Interconnect Device (MID)-Technologie zur Herstellung des Schaltungsträgers erfüllt. Ziel des Teilprojektes war es die Herstellbarkeit, Prozesssicherheit und die Zuverlässigkeit dieser Technologien nachzuweisen. Der Grundkörper des Rotationssensors wurde mit der Spritzgusstechnik hergestellt. Die MID-Technologie Laser-Direkt-Strukturierung diente zur Strukturierung des Grundkörpers. Die Flip Chip-Kontaktierungstechnik Stud Bump Bonding kam als Verfahren zur Anwendung um den Chip mit dem Substrat zu verbinden. Die Kontaktierung des SMD-Kondensators wurde durch einen leitfähigen Klebstoff hergestellt. Die zuverlässigkeitsrelevanten Material- und Prozessparameter für eine Flip Chip- und SMD-Kondensator-Verbindung auf MID wurden an Testträgern ermittelt. Bei der Auswahl von Materialien und Prozessen für die Herstellung der Demonstratoren wurden diese Ergebnisse verwendet. Die Zuverlässigkeitsuntersuchungen unter Automotive Bedingungen zeigen, dass die MID-Technik zusammen mit der Flip Chip-Technik und der Leitkleb-Technik für SMD-Bauteile zur Herstellung von Rotationssensoren eingesetzt werden können. Die untersuchten Technologien können verwendet werden, um weitere Sensoranwendungen sowohl für das Kraftfahrzeug als auch für Nicht-Kraftfahrzeug-Anwendungen zu realisieren.
Miniaturisierte Drehzahlfühlersysteme in MID-Technik (Teilvorhaben) . Innovative Mikrodrehgeber für Automatisierungs- und Kraftfahrzeugtechnik, IMDAKT
Miniaturizated angular sensor systems in MID technology (subproject). Innovative micro angular motion transducer for the automated and automotive technology, IMDAKT
2006
25 Seiten, 14 Bilder, 7 Tabellen
Report
Deutsch
SERVOANTRIEBE - Perfekte Zigarren durch moderne Automatisierungs-technik
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