Pitch-Variable Subwavelength Gratings Driven by Comb Actuators

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Kobayashi, T. / Kanamori, Y. / Hane, K. / IEEE / LEOS

Titel :

Beteiligte:

Kobayashi, T. (Autor:in) / Kanamori, Y. (Autor:in) / Hane, K. (Autor:in) / IEEE / LEOS

Kongress:

INTERNATIONAL CONFERENCE, Optical MEMS and their applications ; 2004 ; Takamatsu, Japan

Erschienen in:

Optical MEMS and their applications ; 198-199

Erscheinungsdatum :

2004-01-01

Format / Umfang :

2 pages

Medientyp :

Aufsatz (Konferenz)

Format :

Sprache :

Englisch

Schlagwörter :

Optical MEMS , IEEE , LEOS

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