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    Surface treatment of inductively coupled plasma on P-GaN

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    Dokumentinformationen

    Titel :

    Surface treatment of inductively coupled plasma on P-GaN

    Beteiligte:
    Tseng, C. T. (Autor:in) / Su, S. H. (Autor:in) / Yokoyama, M. (Autor:in) / Ou, C. W. (Autor:in) / Chen, S. M. (Autor:in) / Guo li Taiwan da xue / Taiwan guang xue gong cheng xue hui
    Kongress:

    5th, Pacific Rim conference on lasers and electro-optics; photonics lights innovation: from nano-structures and devices to systems and networks ; 2003 ; Taipei, Taiwan

    Erschienen in:

    Pacific Rim conference on lasers and electro-optics; photonics lights innovation: from nano-structures and devices to systems and networks ; 552

    Erscheinungsdatum :

    2003-01-01

    Format / Umfang :

    552 pages

    Anmerkungen:

    Includes bibliographic references and author index

    ISBN :

    0780377664

    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)

    Format :

    Print

    Sprache :

    Englisch

    Schlagwörter :

    Lasers , Electrooptics. , Optoelectronic devices

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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