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    Spectrophotometric determination of absorption in the DUV/VUV spectral range for MgF~2 and LaF~3 thin films [4099-35]

    Spectrophotometric determination of absorption in the DUV/VUV spectral range for MgF~2 and LaF~3 thin films [4099-35]


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    Dokumentinformationen

    Titel :

    Spectrophotometric determination of absorption in the DUV/VUV spectral range for MgF~2 and LaF~3 thin films [4099-35]

    Beteiligte:
    Gunster, S. (Autor:in) / Ristau, D. (Autor:in) / Bosch, S. (Autor:in) / Al-Jumaily, G. A. / SPIE
    Kongress:

    Conference, Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries ; 2000 ; San Diego, CA

    Erschienen in:

    Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries ; 299-310

    PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERINGG ; 4099

    Erscheinungsdatum :

    2000-01-01

    Format / Umfang :

    12 pages

    ISBN :

    0819437441

    ISSN :

    0277-786X

    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)

    Format :

    Print

    Sprache :

    Englisch

    Schlagwörter :

    optical metrology , semiconductor industries , data storage industries

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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