Titel :

Automated-interference-lithography-based systems for generation of submicron-feature size patterns (Invited Paper) [3879-14]

Beteiligte:

Hobbs, D. S. (Autor:in) / MacLeod, B. D. (Autor:in) / Kelsey, A. F. (Autor:in) / Leclerc, M. A. (Autor:in) / Lee, S. H. / Cox, J. A.

Kongress:

Conference, Micromachine technology for diffractive and holographic optics ; 1999 ; Santa Clara; CA

Micromachine technology for diffractive and holographic optics ; 3879 ; 124-137

PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING ; 3879

Erscheinungsdatum :

1999-01-01

Format / Umfang :

14 pages

ISBN :

0819434760

ISSN :

0277-786X

Medientyp :

Aufsatz (Konferenz)

Format :

Print

Sprache :

Englisch

Schlagwörter :

micromachine technology , holographic optics , diffractive optics

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