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    Compact ArF excimer lasers specific to microlithography and surgery (Invited Paper) [2987-11]

    Compact ArF excimer lasers specific to microlithography and surgery (Invited Paper) [2987-11]


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    Dokumentinformationen

    Titel :

    Compact ArF excimer lasers specific to microlithography and surgery (Invited Paper) [2987-11]

    Beteiligte:
    Sekita, H. (Autor:in) / Yano, J. (Autor:in) / Tada, A. (Autor:in) / Tamegai, M. (Autor:in) / Sze, R. C. / Dorko, E. A. / SPIE
    Kongress:

    Conference; 2nd, Gas and chemical lasers and applications ; 1997 ; San Jose; CA

    Erschienen in:

    Gas and chemical lasers and applications ; 2987 ; 80-87

    PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING ; 2987

    Erscheinungsdatum :

    1997-01-01

    Format / Umfang :

    8 pages

    ISBN :

    081942398X

    ISSN :

    0277-786X

    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)

    Format :

    Print

    Sprache :

    Englisch

    Schlagwörter :

    gas , chemical lasers , SPIE

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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