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    Excimer laser micromachining based on dielectric masks [2246-07]

    Excimer laser micromachining based on dielectric masks [2246-07]


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    Dokumentinformationen

    Titel :

    Excimer laser micromachining based on dielectric masks [2246-07]

    Beteiligte:
    Schmidt, H. (Autor:in) / Ihlemann, J. (Autor:in) / Wolff-Rottke, B. (Autor:in) / Ahlers, R.-J. / SPIE
    Kongress:

    Conference, Laser materials processing and machining ; 1994 ; Frankfurt; Germany

    Erschienen in:

    Laser materials processing and machining ; 2246 ; 67-73

    PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING ; 2246

    Erscheinungsdatum :

    1994-01-01

    Format / Umfang :

    7 pages

    ISBN :

    0819415529

    ISSN :

    0361-0748

    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)

    Format :

    Print

    Sprache :

    Englisch

    Schlagwörter :

    laser materials processing , SPIE

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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