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    Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium-pin-Solarzellen mittels einer VHF-PECVD-Durchlaufanlage : Bearbeitungszeitraum: 01.10.2006 - 31.03.2010

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    Technische Universität Dresden, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik | TIBKAT | 2010