Die Versorgung von Mikrosystemen mit elektrischer Energie erfolgt in der Regel kabelgebunden oder zunehmend auch über Batterien oder Akkumulatoren. Bei den Batteriesystemen handelt es sich zumeist um hybrid aufgebaute Systeme, die die Energiequelle mit elektronischen, sensorischen und aktorischen Komponenten zu einem Subsystem verbinden. Zur Laufzeitverlängerung der Energieversorgung wird versucht, Energie aus der Umwelt (Micro Energy Harvesting) zu ernten und dem System zur Verfügung zu stellen. Brennstoffzellen können zur Versorgung von Mikrosystemen mit Energie genutzt werden. In diesem Beitrag werden zwei Arten der Energieversorgung auf der Basis von Brennstoffzellen vorgestellt. Zum einen handelt es sich dabei um einen Ansatz, bei dem die Brennstoffzellen während des mikroelektronischen Herstellprozesses (CMOS-Prozess) der Mikrosysteme in das System integriert werden und damit ein autarkes Subsystem ermöglicht. Zum anderen handelt es sich um einen Ansatz, bei dem handelsübliche Knopfzellen durch eine integriert photovoltaisch wiederbeladbare Brennstoffzelle ersetzt und so deren Laufzeit deutlich verlängert werden kann.

Powering micro systems today are based on wiring or batteries. Usually battery based micro systems are built up by hybrid packaging processes who integrate electronic, sensoric and actuating components. In the future the lifetime extension of battery driven system could be realized by micro energy harvesting from the environment. Fuel cells can be used to power micro systems. In this article we introduce two principle different ways to use fuel cells in micro systems. Firstly we describe a monolithic integrated CMOS power source. Secondly approach we introduce a photovoltaic rechargeable fuel cell system that is integrated into a conventional battery casing to extend the lifetime of handheld systems.