Integrierte Sensoren mittels additiver Mikro-Galvanik-Verfahren (ISAMIG) für Anwendungen im Automobil. Teilvorhaben: Grundlagenentwicklung zur galvanischen Abformtechnik mikromechanischer Sensorstrukturen für Anwendungen im Automobilbereich
Integrierte Sensoren mittels additiver Mikro-Galvanik-Verfahren (ISAMIG) für Anwendungen im Automobil. Teilvorhaben: Grundlagenentwicklung zur galvanischen Abformtechnik mikromechanischer Sensorstrukturen für Anwendungen im Automobilbereich
- Neue Suche nach: Renken, O.
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Die entwickelte Mikrostrukturierungstechnologie bietet im Zusammenhang mit der Integrationstechnik eine neue Grundlage für weitere Anwendungen im Bereich der Mikrosensorik und Mikroaktorik. Mit der Integration galvanisch erzeugter Mikroelemente auf vor- oder fertigprozessierte ICs entsteht eine neue Klasse von Mikrosystemen, bei denen beliebige lCs mit sensorischen oder aktorischen Elementen versehen werden können. Labormuster von Beschleunigungs- und Drehratensensoren sowie Teststrukturen wurden gefertigt und die Entwicklung des Gesamtprozesses zur Herstellung des System- und Deckelwafers konnte etabiiert werden. Designregeln wurden abgeleitet, die ein schnelles Umsetzen von Designs verschiedener Strukturen für unterschiedlichste Anwendungen und deren technologische Herstellung mit kurzen Fertigungszeiten ermöglichen. Die Ergebnisse des Vorhabens können partiell genutzt werden. Prozeßmodule, wie die polymere Opferschicht zur Vermeidung von Sticking-Effekten als auch die Verkappung auf Waferebene lassen sich in anderen Prozessen adaptieren. Das erworbene Know How bei der Entwicklung von Einzelprozessen sämtlicher Prozeßmodule fließt in den allgemeinen Technologiebereich ein. Hier sind an erster Stelle Strukturierung der Mikroform auf stark topographiebehaftetem Substrat, gezielte Abscheidung der Funktionsschicht und Wechselwirkungen zwischen Prozeßschritten zu nennen.
Dokumentinformationen
Integrierte Sensoren mittels additiver Mikro-Galvanik-Verfahren (ISAMIG) für Anwendungen im Automobil. Teilvorhaben: Grundlagenentwicklung zur galvanischen Abformtechnik mikromechanischer Sensorstrukturen für Anwendungen im Automobilbereich
1999
12 Seiten, 7 Bilder, 2 Tabellen
Report
Deutsch
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