Eine Vielzahl technischer Anwendungen erfordert die Messung und Charakterisierung von Oberflächenrauhigkeiten in einem großen Ortsfrequenzbereich, wozu die Kombination verschiedener Messverfahren durch das Zusammenfügen der Leistungsspektraldichtefunktionen (Power Spectral Density - PSD) notwendig ist. Hierzu wird die Weißlichtinterferometrie (WLI) mit der Rasterkraftmikroskopie (AFM) anhand eines strukturierten Gitters verglichen. Es zeigt sich eine gute Übereinstimmung der Profile und der PSD. Weiterhin werden rauhe und strukturierte technische Oberflächen und teilweise deren dynamische Veränderungen (Korrosion, Beschichtung) mittels WLI, AFM und Streulichtuntersuchungen vermessen und die Ergebnisse mit Hilfe der PSD kombiniert, die somit einen Ortsfrequenzbereich von fünf Größenordnungen umfasst. In einigen Fällen erzielt nur die kombinierte PSD die richtige modellmäßige Beschreibung der Oberfläche.
Hochauflösende Topometrie im Kontext globaler Makrostrukturen
tm - Technisches Messen ; 66 , 11 ; 437-446
1999-01-01
10 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
Korrosion , Meßtechnik , Oberfläche , Optik , Topographie , Frequenz , Messung
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