A capacitive micromechanical ultrasonic transducer unit and a production method therefor, a panel, and an apparatus. The capacitive micromechanical ultrasonic transducer unit comprises a first electrode (1), a diaphragm layer (4), and a second electrode (7) which are sequentially arranged from bottom to top, and a cavity (2) is present between the first electrode (1) and the diaphragm layer (4); the capacitive micromechanical ultrasonic transducer unit further comprises third electrodes (3) located on the side of the diaphragm layer (4) close to the cavity (2), and the orthographic projection of the third electrodes (3) on the first electrode (1) covers part of the orthographic projection of the cavity (2) on the first electrode (1). Frequency conversion of ultrasonic waves emitted by the capacitive micromechanical ultrasonic transducer unit can be achieved.

L'invention concerne une unité de transducteur ultrasonore micromécanique capacitif et un procédé de production de celle-ci, un panneau et un appareil. L'unité de transducteur ultrasonore micromécanique capacitif comprend une première électrode (1), une couche de membrane (4), et une deuxième électrode (7) qui sont agencées séquentiellement de bas en haut, et une cavité (2) est présente entre la première électrode (1) et la couche de membrane (4) ; l'unité de transducteur ultrasonore micromécanique capacitif comprend en outre des troisièmes électrodes (3) situées du côté de la couche de membrane (4) proche de la cavité (2), et la projection orthographique des troisièmes électrodes (3) sur la première électrode (1) recouvre une partie de la projection orthographique de la cavité (2) sur la première électrode (1). La conversion de fréquence d'ondes ultrasonores émises par l'unité de transducteur ultrasonore micromécanique capacitif peut être obtenue.

一种电容式微机械超声换能单元及其制备方法、面板、装置。电容式微机械超声换能单元，包括由下至上依次设置的第一电极（1）、振膜层（4）和第二电极（7），第一电极（1）和振膜层（4）之间存在空腔（2），其中，电容式微机械超声换能单元还包括：位于振膜层（4）靠近空腔（2）一侧的第三电极（3），第三电极（3）在第一电极（1）上的正投影覆盖空腔（2）在第一电极（1）上的正投影的一部分。能够实现电容式微机械超声换能单元发出的超声波的频率的转换。