Bei einem Verfahren zur Trajektorienregelung eines zweiachsigen Lissajous-Mikroscanners wird eine Antriebseinrichtung für den Mikroscanner im Sinne einer Regelung so angesteuert, dass über eine Mehrzahl von aufeinanderfolgenden Zeitintervallen in jedem der Zeitintervalle für seine jeweilige Dauer die Antriebsfrequenzen für die zwei Achsen ein Frequenzpaar bilden und sich die jeweils zugeordneten Frequenzpaare von unmittelbar aufeinanderfolgenden Zeitintervallen zumindest bezüglich zumindest einer der Frequenzen unterscheiden. Für ein jeweiliges Zeitintervall wird sein Frequenzpaar in Abhängigkeit von einem sensorisch erfassten Wert zumindest einer physikalischen Größe, die in einem Abhängigkeitsverhältnis mit der jeweiligen Resonanzfrequenz bezüglich zumindest einer der Schwingungsachsen steht, gemäß einer Auswahlvorschrift aus einer vorbestimmten diskreten Menge von mehreren unterschiedlichen Frequenzpaaren so ausgewählt, dass das ausgewählte Frequenzpaar bezüglich zumindest einer seiner beiden Frequenzen um eine jeweilige Frequenzabweichung von der gemäß dem Abhängigkeitsverhältnis zu dem erfassten Wert der zumindest einen Größe korrespondierenden Resonanzfrequenz zur selben Schwingungsachse abweicht.

The invention relates to a method for regulating the trajectory of a two-axis Lissajous microscanner, in which method a drive device for the microscanner is controlled in the sense of a regulation such that, over a plurality of successive time intervals the drive frequencies form, in each of the time intervals for its corresponding duration, a frequency pair for the two axes, and the correspondingly assigned frequency pairs differ from directly successive time intervals, at least with respect to at least one of the frequencies. For a corresponding time interval, its frequency pair is selected, on the basis of a sensor-detected value of at least one physical quantity, which is in a dependency relationship with the corresponding resonance frequency with respect to at least one of the oscillation axes, according to a selection specification, from a predetermined discrete amount of a plurality of different frequency pairs such that the selected frequency pair deviates, with respect to at least one of its two frequencies, by a corresponding frequency deviation from the resonance frequency that corresponds, according to the dependency relationship, to the detected value of the at least one quantity, with respect to the same oscillation axis.