Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    A non vacuum packed silicon micro gyroscope


    Weitere Titelangaben:

    Ein nicht in Vakuum eingeschlossenes Silizium Mikro-Gyroskop.



    Erscheinungsdatum :

    2006


    Format / Umfang :

    8 pages


    Anmerkungen:

    SAE-Paper;2006-01-1459;2006


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    A Non Vacuum Packaged Silicon Micro Gyroscope

    Chang, Hyun Kee / Lee, Yong Sung | SAE Technical Papers | 2006


    Principles Of The Electric Vacuum Gyroscope

    Farrior, James S. / Roberson, Robert E. | AIAA | 1962


    High Vacuum Circumferentially Distributed Quad Mass MEMS Gyroscope Based on All-Silicon Process

    Fangyuan, Zhang / Xin, Yan / Yong, Wang et al. | Springer Verlag | 2022


    A new silicon rate gyroscope

    Geiger, W. / Folkmer, B. / Merz, J. et al. | Tema Archiv | 1998