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    Real-time critical dimension measurement of thin film transistor liquid crystal display patterns using optical coherence tomography

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    Dokumentinformationen

    Titel :

    Real-time critical dimension measurement of thin film transistor liquid crystal display patterns using optical coherence tomography

    Beteiligte:
    Park, S.-H. (Autor:in) / Kim, T.-W. (Autor:in) / Lee, J.-H. (Autor:in) / Pahk, H.-J. (Autor:in)
    Erschienen in:

    JOURNAL OF ELECTRONIC IMAGING ; 23 , 1 ; 013001

    Erscheinungsdatum :

    2014-01-01

    Format / Umfang :

    13001 pages

    ISSN :

    1017-9909

    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format :

    Print

    Sprache :

    Englisch

    Klassifikation :

    DDC:    535.84

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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