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    Titel :

    Optical Quality Improvement of Si Photonic Devices Fabricated by Focused-Ion-Beam Milling


    Beteiligte:
    Tian, J. (Autor:in) / Yan, W. (Autor:in) / Liu, Y. (Autor:in) / Luo, J. (Autor:in) / Zhang, D. (Autor:in) / Li, Z. (Autor:in) / Qiu, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    2009-01-01


    Format / Umfang :

    4306 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.3692



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