Determination of mechanical properties of silicon nitride thin films using nanoindentation [5798-35]

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Determination of mechanical properties of silicon nitride thin films using nanoindentation [5798-35]

Determination of mechanical properties of silicon nitride thin films using nanoindentation [5798-35]

Martyniuk, M. / Antoszewski, J. / Walmsley, B. A. / Musca, C. A. / Dell, J. M. / Jung, Y.-G. / Lawn, B. R. / Huang, H. / Faraone, L.

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Dokumentinformationen

Titel :

Determination of mechanical properties of silicon nitride thin films using nanoindentation [5798-35]

Beteiligte:

Martyniuk, M. (Autor:in) / Antoszewski, J. (Autor:in) / Walmsley, B. A. (Autor:in) / Musca, C. A. (Autor:in) / Dell, J. M. (Autor:in) / Jung, Y.-G. (Autor:in) / Lawn, B. R. (Autor:in) / Huang, H. (Autor:in) / Faraone, L. (Autor:in) / Tchoryk, Peter

Kongress:

Conference; 2nd, Spaceborne sensors ; 2005 ; Orlando, FL

Erschienen in:

Spaceborne sensors ; 216-225

PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING ; 5798

Erscheinungsdatum :

2005-01-01

Format / Umfang :

10 pages

ISBN :

ISSN :

Medientyp :

Aufsatz (Konferenz)

Format :

Print

Sprache :

Englisch

Schlagwörter :

Spaceborne sensors , SPIE

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