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    Micropeak array in the scribe line on a wafer [4088-63]

    Micropeak array in the scribe line on a wafer [4088-63]


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    Dokumentinformationen

    Titel :

    Micropeak array in the scribe line on a wafer [4088-63]

    Beteiligte:
    Chiba, T. (Autor:in) / Komura, R. (Autor:in) / Mori, A. (Autor:in) / Miyamoto, I. / Sugioka, K. / Sigmon, T. W. / Japan Laser Processing Society / Institute of Physical and Chemical Research / SPIE
    Kongress:

    1st, International symposium on laser precision microfabrication ; 2000 ; Omiya, Japan

    Erschienen in:

    International symposium on laser precision microfabrication ; 389-392

    PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING ; 4088

    Erscheinungsdatum :

    2000-01-01

    Format / Umfang :

    4 pages

    Anmerkungen:

    Described as proceedings. Also known as LPM 2000

    ISBN :

    081943731X

    ISSN :

    0277-786X

    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)

    Format :

    Print

    Sprache :

    Englisch

    Schlagwörter :

    laser precision microfabrication , LPM , SPIE

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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    Nr. 4088

    DataCite | 1923

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