Titel :

Deposition of hydrogen-free DLC film over large areas by KrF (248 nm) pulsed-laser ablation with substrate scanning [3862-98]

Beteiligte:

Li, T. (Autor:in) / Liu, J. (Autor:in) / Wang, L. (Autor:in) / Xie, S. (Autor:in) / Gan, F. / SPIE / Huazhong University of Science and Technology / Optical Society of China

Kongress:

International conference, Industrial lasers ; 1999 ; Wuhan; China

Industrial lasers ; 3862 ; 469-473

PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING ; 3862

Erscheinungsdatum :

1999-01-01

Format / Umfang :

5 pages

ISBN :

0819434566

ISSN :

0277-786X

Medientyp :

Aufsatz (Konferenz)

Format :

Print

Sprache :

Englisch

Schlagwörter :

industrial lasers , SPIE , optical

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