Titel :

All-silicon waveguides and bulk-etched alignment structures on (110) silicon for integrated micro-opto-mechanical systems [2686-02]

Beteiligte:

Smith, S. W. (Autor:in) / Mehregany, M. (Autor:in) / Merat, F. L. (Autor:in) / Smith, D. A. (Autor:in) / Tabib-Azar, M. / SPIE

Kongress:

Conference, Integrated optics and microstructures III ; 1996 ; San Jose; CA

Integrated optics and microstructures III ; 2686 ; 17-28

PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING ; 2686

Erscheinungsdatum :

1996-01-01

Format / Umfang :

12 pages

ISBN :

0819420603

ISSN :

0361-0748

Medientyp :

Aufsatz (Konferenz)

Format :

Print

Sprache :

Englisch

Schlagwörter :

integrated optics , SPIE , microstructures

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